Καθώς η παγκόσμια διαδικασία ημιαγωγών κινείται προς προηγμένους κόμβους των 3nm/2nm, τα υλικά τιτανίου ακριβείας (ASTM B265/B348, Grade 1/2/5 υψηλής-καθαρότητας κράματα τιτανίου και τιτανίου) αναβαθμίζονται από "βοηθητικά υλικά" σε βασικά υλικά στρατηγικής σημασίας για ημιαγωγούς{101} καθαρότητα, εξαιρετικά-χαμηλές ακαθαρσίες, ισχυρή θερμική σταθερότητα, αντοχή στη διάβρωση και μη{10}}μαγνητικές ιδιότητες. Η προσοχή και η ζήτηση της αγοράς αυξάνονται συγχρόνως.
Βασικός οδηγός: Οι προηγμένες διαδικασίες επιβάλλουν αναβαθμίσεις υλικού
Οι προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών (5nm και κάτω) απαιτούν τρεις βασικές απαιτήσεις σκληρού πυρήνα για υλικά: ακρίβεια σε επίπεδο νανομέτρων, καθαρότητα ατομικού επιπέδου και εξαιρετική περιβαλλοντική σταθερότητα:
-Υλικό στόχου τιτανίου υψηλής καθαρότητας (Βαθμός 1, καθαρότητα μεγαλύτερη από ή ίση με 99,999%/5Ν): Υλικό πυρήνα διασκορπισμού PVD, που χρησιμοποιείται για στρώμα φραγμού διασύνδεσης χαλκού, βύσμα επαφής, για την αποφυγή της διάχυσης ατόμου χαλκού από τη μόλυνση των πλακών πυριτίου, κατάλληλο για άμεσο προσδιορισμό της απόδοσης3 και άμεσο προσδιορισμό της απόδοσης30 τσιπ1m διαδικασία.
-Δομικά εξαρτήματα ακριβείας (Βαθμός 2/5): τραπέζι εργασίας μηχανής λιθογραφίας, θάλαμος μηχανής χάραξης, φλάντζα κενού, ρομποτικός βραχίονας γκοφρέτας κ.λπ., με χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής (8,6 × 10 ⁻6/βαθμός ) και διακύμανση θερμοκρασίας 11 μέτρο παραμόρφωσης θέσης φωτισμού μόνο ακρίβεια.
-Στοιχεία ανθεκτικά στη διάβρωση (Βαθμός 7): Ανθεκτικά στη διάβρωση ισχυρού οξέος/αλογόνου σε υγρό εξοπλισμό χάραξης και καθαρισμού, χωρίς ρύπανση από μέταλλο, κατάλληλο για ακραίες συνθήκες εργασίας με υψηλό κενό και ισχυρό πλάσμα.
Βασικά πλεονεκτήματα των αμερικανικών προτύπων υλικών τιτανίου
1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα+πολύ-χαμηλές ακαθαρσίες: Αμερικάνικο πρότυπο τιτάνιο υψηλής-καθαρότητας βαθμού 1 με ελεγχόμενες ακαθαρσίες οξυγόνου/αζώτου/άνθρακα<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Θερμική σταθερότητα+ακρίβεια διαστάσεων: χαμηλή θερμική αγωγιμότητα (21,9W/(m · K)), μικρός συντελεστής θερμικής διαστολής, ανοχή έως ± 0,005 mm, ομαλότητα επιφάνειας Ra Μικρότερη ή ίση με 0,4 μ m, κατάλληλη για συναρμολόγηση νανοκλίμακας και σφράγιση υπό κενό.
3. Αντοχή στη διάβρωση+μη-μαγνητική+χαμηλή απελευθέρωση αερίου: στρώμα φυσικού οξειδίου αυτο-θεραπεύεται-, ανθεκτικό σε Cl 2/F 2/διάβρωση ισχυρού οξέος. Μη μαγνητικά και μη παρεμβολικά κυκλώματα ακριβείας. Ο ρυθμός απελευθέρωσης αέρα είναι εξαιρετικά χαμηλός υπό εξαιρετικά-υψηλό κενό (UHV), διασφαλίζοντας την καθαριότητα του θαλάμου.
4. Ελαφρύ και υψηλή αντοχή: Πυκνότητα 4,51 g/cm ³ (40% ελαφρύτερη από τον ανοξείδωτο χάλυβα), αντοχή σε εφελκυσμό Βαθμού 5 μεγαλύτερη ή ίση με 930 MPa, ειδική αντοχή διπλάσια από αυτή του ανοξείδωτου χάλυβα, κατάλληλη για τις ελαφριές απαιτήσεις κινητών εξαρτημάτων υψηλής{{5} ταχύτητας.
Βασικά σενάρια εφαρμογών
-Υλικό στόχου τιτανίου υψηλής καθαρότητας (Βαθμός 1): Εναπόθεση με ψεκασμό PVD, που χρησιμοποιείται για στρώμα φραγμού τσιπ λογικής/αποθήκευσης και συγκολλητικό στρώμα, με μέγεθος παγκόσμιας αγοράς 1,87 δισεκατομμυρίων δολαρίων ΗΠΑ το 2024 και CAGR 9,3% από το 2026 έως το 2030.
-Θάλαμος κενού/φλάντζα (Βαθμός 2): Σύστημα κενού για εξοπλισμό χάραξης και εναπόθεσης, ανθεκτικό σε υψηλή πίεση, χαμηλή απελευθέρωση αερίου και αξιόπιστη στεγανοποίηση.
-Ρομποτικός τελεστής βραχίονα/άκρου ακριβείας (Βαθμός 5): μεταφορά γκοφρέτας, ελαφρύ και υψηλή-αντοχή, ακριβής τοποθέτηση και χωρίς αποβολή σωματιδίων.
-Ανθεκτική στη διάβρωση επένδυση/εξάρτημα (Βαθμός 7): Εξοπλισμός υγρής διεργασίας, ανθεκτικός σε ισχυρά οξέα όπως HF/HCl, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού και μειώνει το κόστος συντήρησης.
Τάση αγοράς: εγχώρια υποκατάσταση + τεχνολογική ανακάλυψη
Η επέκταση της παγκόσμιας χωρητικότητας ημιαγωγών (ειδικά στην ηπειρωτική Κίνα) έχει οδηγήσει στην ταχεία αύξηση της ζήτησης για υλικά τιτανίου ακριβείας. Το 2023, το μέγεθος της αγοράς των ανταλλακτικών ακριβείας τιτανίου της Κίνας για ημιαγωγούς θα ξεπεράσει τα 3 δισεκατομμύρια γιουάν, με ετήσιο ρυθμό ανάπτυξης άνω του 25%. Έχει επιτευχθεί σταθερή μαζική παραγωγή αμερικανικών προτύπων υλικών τιτανίου ακριβείας Grade 1/2/5 (συμπεριλαμβανομένου εξαιρετικά λεπτού φύλλου τιτανίου 0,05 mm, υλικών στόχου υψηλής
Κάτω από προηγμένες διαδικασίες και την εγχώρια αντικατάσταση της κίνησης με δύο τροχούς, τα υλικά τιτανίου ακριβείας που πληρούν τα αμερικανικά πρότυπα έχουν γίνει το βασικό στήριγμα για την αναβάθμιση της βιομηχανίας ημιαγωγών. Στο μέλλον, θα συνεχίσουν να διασχίζουν την υψηλότερη καθαρότητα (6N), τις πιο λεπτές προδιαγραφές (λιγότερο ή ίσο με 0,05 mm) και την ακριβέστερη μηχανική κατεργασία (± 0,002 mm).
Ζητήστε προσφορά
E-mail:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
